据麦姆斯咨询报道，国内MEMS光学器件开发商常州创微电子机械科技有限公司（以下简称“常州创微”）近日发布了MEMS二维扫描微镜产品。该产品基于电磁驱动原理，结合半导体工艺设计而成，具有转角大、能耗低、体积小、谐振频率高、单个微镜实现二维扫描、加工工艺成熟等特点。
常州创微基于MEMS微镜成功研制了微型投影系统模块与3D线扫描系统，微型投影模块能够将视频和照片投影到任何表面上，具有图像免调焦、高亮度、高画质等特点，而3D线扫描系统可应用于机器视觉、人脸识别等领域，具有速度快、精度高和景深大等特点。
图1 产品写真
这两款产品可应用于汽车平视显示系统、穿戴式显示、微型投影、光通信等领域。
图2 产品应用
产品优势：
- 工作温度-40℃~50℃，内部均集成角度传感器，可实现精确控制；
- 体积小，最小微镜模组尺寸8 x 12 x 10 mm，适用于手机应用；
- 抗震性好，可用于车载等震动环境中。
图3 技术参数
常州创微研发总监沈文江博士告诉麦姆斯咨询记者：“我们知道MEMS器件开发除了好的设计方案外，最关键的还是加工制造环节，成熟的工艺及其优质平台不仅决定了产品的可靠性、一致性的品质要素，而且对成本乃至投放周期有至关重要的影响。为了使产品早日量产抢占市场, 常州创微下足了功夫，除了不断优化设计方案外，从2015年伊始，在全国各地寻找可量产化的研发代工平台，最终与苏州微纳签署NDA建立合作关系，借助苏州微纳中试平台完成对MEMS微振镜的开发及批量生产。”
沈博士表示，器件开发难点在于电磁线圈加工。考虑到功耗及使用寿命，需要把线圈截面面积做大，在保证线圈平面尺寸小的情况下，只能增加线路高度。而高深度图形化需要用到厚（光刻）胶工艺，厚胶工艺中不管是涂胶、光刻、显影对形貌的控制都极其困难，经过创微与苏州微纳技术人员的不懈努力，成功解决了相关问题。
图4 光刻后SEM形貌图
随着自动驾驶汽车概念的进一步深入，AR/VR应用场景的完善，加上下一代苹果手机对3D摄像头的使用，预计光学MEMS市场将呈爆发式增长，据预测，至2025年，光学MEMS器件市场容量将超过百亿美元。光学MEMS应用与市场目前还只是“冰山露出一角”，处于发展的早期阶段。因此，光学MEMS蕴藏巨大的商业机会，是一片亟待开采的“新蓝海”。
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