秦王政二十五年（己卯，前222）春天，秦王赢政命王翦的儿子王贲为主帅，领兵二十万攻打辽东。秦军北渡黄河沿渤海湾东进，一路势如破竹所向披靡。燕王姬喜本是个昏庸无能的国君，以为献出儿子的人头就可以天下太平高枕无忧，四年的时间不去加强国防力量积极备战，过着偏居一隅的太平日子。没想到好景不长，秦国的虎狼之师再次光顾辽东大地，燕王姬喜又慌又恼，大骂秦王言而无信。
夏天，秦军东渡辽水（即今辽河），直逼燕东都襄平（今辽宁省辽阳市），燕王姬喜企图组织抵抗，但是兵微将少，无疑是以卵击石，两军对阵一触即溃。秦军很快兵临城下，全力攻打襄平。襄平很快被攻破，燕王姬喜及其宗族大臣被迫投降，秦军把他们全部押送咸阳听候大王发落。燕国灭亡，秦国将其地设置为辽东郡。
王贲灭燕后，回师西进，攻打赵国余部公子赵嘉统治的代郡。赵嘉率众拼死抵抗，终因势单力薄被秦军攻破代城，赵嘉率数十骑杀出重围，准备逃往匈奴。行至猫儿庄（今内蒙古乌兰察布盟丰镇市东北）时，被秦国追兵捉获。
秦王赢政爱惜赵嘉之才，劝他投降。赵嘉宁死不降，秦王只好将他囚禁起来。赵嘉不肯吃秦国的食物，在狱中绝食而死。秦王赢政念其忠贞可嘉，准许赵嘉的族人将其葬在邯郸赵王陵（今河北邯郸市西北），尊号代王。
冬天，秦王审讯燕王姬喜，问他今日被俘有何话说。燕王姬喜贪生怕死，祈求饶他一命给他一处宅院，让他度过残年。秦王微微冷笑，说道：“像你这种为了自己活命连亲生儿子都杀的人早就该死！”旋即下令将燕王姬喜在闹市区斩首示众，然后抛其尸于林中，任由野兽分食。
山东六国已灭其五，唯有齐国独存。因为几十年来齐国一直没有参战，齐王田建还以为秦王能保留齐国。但是他的如意算盘打错了，一山不容二虎，大中华一统天下，岂能让“二王并存”。于是秦王决定让王贲领兵攻齐。
秦王政二十六年（庚辰，前221）春天，秦将王贲率二十万大军攻齐。齐王田建这才感到恐慌，急忙调遣军队，加强各城邑的防守。
齐国多年没有战争，刀枪都生了锈，军车都发了霉，士兵们别说打仗，连队列都站不齐，临时组织起来的军队，完全没有战斗力，想阻挡如狼似虎的秦军根本就不可能。果然，双方交战，齐军一触即溃，各城邑守军不敢抵抗，纷纷投降。秦军乘胜进攻，势如破竹，很快包围了临淄城。齐王田建做梦也没想到他的好兄弟赢政竟然会出兵来攻打他，心中暗骂赢政是言而无信的小人。
眼见大兵压境，反抗是没有用的，齐王田建急忙与大臣们商议对策。这些大臣很快便形成了两派。一边是主战派，认为：齐国虽然初战告败，但是还有数千里的土地，各地士兵合起来也有几十万，如果再联合五国余部，就完全可以击败秦军。这样不仅能够保住齐国，还可以与秦国争夺天下。这些人主张：宁可战死，绝不投降。而另一边则是主降派，他们认为：秦国兵多粮足势力强大，与秦国抗争纯粹是以卵击石，自取灭亡。这些人极力主张献城投降。田建一时犹豫不决。这时秦王派特使陈驰来到齐国，拜见齐王田建，许以五百里封地给田建，诱使他投降。田建是个懒散惯了的人，原本就无心治国，如今秦王答应给他五百里土地，足以够他安度晚年，又何必去为了争夺王权而打打杀杀呢！于是他不听大臣们的劝阻，决定献城投降，甘愿去做秦王的臣子。
齐王田建降秦后，满怀希望地来到秦国首都咸阳，想与秦王政再续兄弟之情。但他等了数日秦王也没有接见他。后来终于等来了秦王的消息，可惜的是秦王即没有召见他，也没任命他为大臣，更没有封给他五百里土地，而是下令将他逮捕，剥夺他的人身自由。秦王先是把他囚禁在咸阳，不久又将他押送至共邑（今河南新乡辉县市）山中的一处松柏林里。他被丢在那里，四处都是荒山野岭，举目无人，更没有任何他想吃的食物，最后竟被饿死于林中。
秦王嬴政最恨贪生怕死之辈，如果齐王田建敢和他拼死一搏，或许还能给他留下一线生机，如今见他懦弱无能只想苟且偷生，首先便看轻了他，所以拒绝与他见面。
秦王嬴政灭掉山东六国后，建立了中国历史上第一个封建制帝国，史称秦朝。嬴政自称为始皇帝。因为他是中国历史上第一位皇帝，后世都称他为秦始皇。
秦王嬴政十三岁即位，二十一岁亲政，三十九岁称帝。为王二十五年，称帝十二年，在位执政虚记三十八年（《史记·秦始皇本纪》）。秦始皇三十七年（前210）七月，嬴政在最后一次出巡的归途中，病死于沙丘平台（今河北邯郸市广宗县西北），终年五十岁。他的遗体据说是葬在骊山秦始皇陵（今陕西西安市临潼区），不过此说尚有争议。尊号秦王、始皇帝、秦始皇。
诸侯争霸时代至秦王政二十六年（前221）结束，中国历史进入中古时期的中央集权制时代。
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