日本的一些学者提出了利用微机器人进行超精密加工的概念,这一概念突破传统加工观念,设计出可以自由移动的微小机器人,让机器人群在工件上爬,可实现纳米级超精密加工。
1)微加工机器人
2)宏-微结合的驱动方式
3)机床与微机器人技术结合
4)扫描隧道显微镜
5)未来的发展趋势
综上所述,微机器人技术对于超精密加工、检测和装配等都具有不可替代的作用。利用微机器人技术改造传统的机床、工业机器人,可提高加工质量,降低加工成本。从单个机器人操作到多机器人协作,到桌面微工厂,微机器人技术与现代通讯技术、微加工工艺、检测技术等结合,不仅为机器人技术开拓了新的应用领域,也将在未来的先进制造领域发挥更大的作用。
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