电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance)微波等离子技术是本世纪六十年代中期开始的，经过几十年的发展，现在已日趋成熟。微波ECR等离子体与传统等离子体相比，具有高密度、高能量转换率、低工作气压、无电极放电、高各向异性以及低离子能量等优点，最初被应用于核聚变的开发研究，后来又在托卡马克、串级磁镜等聚变装置中进行等离子体加热研究。近年来，ECR等离子体被广泛运用于微电子技术，材料加工，低温表面处理工艺中。
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