用平尺（或刀口尺）测量间隙为0.5μm（0.5～3μm 为有色光，3μm 以上为白光）的直线度，间隙偏大时可用塞尺配合测量；用平板、平尺作测量基维，用百分表或千分表测量直线度误差；用直径0.1～0.2mm 钢丝拉紧，用V 型铁上垂直安装读数显微镜检查直线度；用水准仪、自准直仪、准直望远镜等光学仪器测量直线度误差；用方框水平仪加桥板测直线度；用光学平晶分段指示器检测精度高的直线度误差。
用指示器（如百分表）；用平尺结合指示器；用平面扫瞄仪、水平仪、自准直仪、准直望远镜、平晶等光学仪器测量工件的平面误差；用标准平板或平尺涂上颜料与被测平面平尺对研，以每25.4×25.4mm的面积内亮点的数目来表征平面度误差。
用圆度仪测量，测量时仪器可将轮廓记录在纸上，用同心圆模板或按仪器给出的理想圆比较求出圆度误差，圆度仪有转轴式和转台式两种测量方式；用卡尺、千分尺等多测几个工件截面直径，以同截面最大值减最小值的1/2 作为该工件的圆度误差；将工件架在V 形铁上用上指示器多测几个截面，以最大差值的1/2 作为圆度误差值，取最大误差值作为工件的圆度误差；用光学分度头、万能工具显微镜的分度台作为测量圆度误差的回转分度机构，用电感测微仪、扭簧比较仪的指示机构来测量圆度、圆柱度误差；用圆分度仪在圆周上等份取若干测量点，被测件每转过一个角度从指示表上读取一个数值，然后在极坐标图上绘出误差曲线，得出圆度或圆柱度误差；将被测工件放置在有坐标装置仪器（三坐标测量机或有两坐标的万能工具显微镜等）的工作台上，调整被测件轴线与仪器工作台面垂直并基本上同轴，按选定截面被测圆周上等份测量出各点坐标值，取其中最大的误差值为评定的圆度误差。
用圆度仪法测量若干个横截面圆度，按最小条件给出圆柱度误差，也可以通过记录各截面的圆 度误差图形，用透明同心圆模板求圆柱度误差，还可以取若干个截面圆度误差中最大值为圆柱度误差；将工件放在平板上并靠紧方箱，用千分表测若干个截面的最大与最小读数，取所有读数中最大与最小读数差之半为该工件的圆柱度误差；将工件放在V 形块内（V 形块长度应大于被测工件长度），工件转动用千分表测出若干个截面的最大与最小读数，取各截面所有读数中最大与最小读数之半为该工件圆柱度误差；将工件轴线与三坐标测量装置的轴调至平行，测量工件外圆各点的坐标值，通过计算机按最小条件求圆柱度误差；用指示器法将零件顶在仪器的两顶尖上轴线定位，在被测圆柱面的全长上测量若干个截面轮廓，每个轮廓上可选取若干个等分点，得到整个圆柱面上各点的半径差值。
利用仿形（靠模）机床检测线轮廓度误差，要求仿形测头形状应与千分表测头形状相同；用制作精确的检验样板检测工件，测量样板与工件的间隙来确定工件线轮廓度误差；用万能工具显微镜，利用有分度装置的转台或精密镗床等测量工件轮廓的坐标值，求出线轮廓度误差；将工件放到投影仪上按放大图的倍数放大，将工件放大的轮廓投影与理论轮廓比较，检查工件轮廓是否超出极限轮廓，此方法适用于较小的薄形工件。
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