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来得太快!1nm,ASML正式官宣了
光刻机是芯片生产制造的必要设备,目前,最先进的光刻机技术掌握在ASML手中。
数据显示,ASML研发生产的DUV光刻机,能够生产7nm以上的芯片,而EUV光刻机则能够生产制造7nm以下的芯片,两款光刻机几乎占领了中高端市场。
最主要的是,EUV光刻机是生产7nm以下芯片的必要设备,所以,台积电才大量安装EUV光刻机,预计在2021年安装超过50台。
另外,三星也加入其中,李在镕更是亲自前往ASML,协商购买更多的EUV光刻机,目的就是提升先进制程芯片的产能和良品率。
但没有想到的是,就在三星、台积电等都大量争夺EUV光刻机之际,ASML却正式官宣了1nm的光刻机相关情况。
据悉,生产7nm、5nm、3nm等芯片,EUV光刻机是完全可以满足需求,但生产2nm以后的芯片,则需要更为先进的光刻机——NA EUV光刻机。
数据显示,对于2nm以后的超精细工艺,需要实现更高的分辨率和更高的光刻设备NA(NA=0.55)。目前,7nm、5nm等则是采用了NA=0.33 EUV光刻设备。
据IMEC介绍,ASML已经完成了作为NXE:5000系列的高NA EUV曝光系统的基本设计,但商业化计划在2022年左右。
但这套下一代系统将因其巨大的光学系统而变得非常高大,很有可能顶在传统洁净室的天花板下。
也就是说,ASML有望在2022年推出NA EUV光刻机,其可以用以生产2nm以下的芯片,像1nm、亚1nm的芯片。
面对这样的这样情况,只能说这来得太快了。
因为台积电、三星等厂商,都是在2017年或者2018年开始安装并使用EUV光刻机,无论是麒麟990处理器还是苹果的A13处理器,都是首次采用7nm EUV工艺。
另外,三星和台积电都是在2020年推出了5nm的芯片工艺,预计在2021年将会有4nm的芯片和风险试产的3nm的芯片,2022年将会大量的3nm芯片上市。
如今,ASML正式官宣了适用于生产2nm以下芯片的光刻机,并将会在2022年开展商业计划。
这就意味着,2024年,台积电、三星等厂商就能够用NA EUV光刻机生产2nm的芯片。
要知道,台积电原本就计划在2024年生产2nm的芯片,届时,NA EUV光刻机出现后,而EUV光刻机可能就会被逐渐淘汰了。
短短几年时间,EUV光刻机就将被全新的NA EUV光刻机所替代,所以才说这来得太快。
当然,ASML技术发展越快,对于国内厂商而言,好处也是多多。
首先,ASML已经多次表态,其可以向国内厂商出售DUV光刻机,一般情况是不需要许可的,而ASML也表示将加速在国内市场的布局。
但由于美国修改规则,EUV光刻机是无法向国内厂商出售的,毕竟其目前最先进的光刻机,但NA EUV光刻机商业投用后,ASML很大可能就能够向国内厂商出售EUV光刻机了。
因为那时候最先进的光刻机是NA EUV光刻机,按照目前的情况下,只要不是出售最先进的光刻机,ASML应该都能够实现自由出货。
其次,ASML不断研发,这也是等于探路,毕竟摩尔定律正在逐渐失效,逻辑面积越小的芯片就越难以生产。
虽然ASML表示NA EUV光刻机可以实现1nm或者亚1nm的制程,但其还表示,我们将努力实现环境友好、适合可持续发展社会的微处理器。
简单说就是,1nm以及亚1nm的芯片或将极限,未来芯片将朝着光电芯片的发展方向。
更何况,日本众多光刻工具厂商纷纷退出EUV光刻开发阶段,这是告诉国内厂商,硅芯片很快就将到达极限,转型研发光电芯片才是未来趋势。
否则,华为也不会投资近百亿元,在英国建设海外业务总部,用于研发光电芯片等。
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