金刚线切割硅片制程不良片制绒返工工艺优化

摘要: 文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工。方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度，通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率。实验分析了三种制绒返工方案所制电池片的外观形貌和电学参数，对比不同返工方案所做电池片的不良率。

结果显示: 通过稀释制绒溶液并且补加添加剂将制绒刻蚀深度控制在0． 35 μm 左右，并且控制硅片表面反射率在25%以下，有利于改善返工电池片的转换效率和电池片良率。

         

王森涛，焦朋府，崔龙辉，王森栋

山西潞安太阳能科技有限责任公司

来源：煤