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2022.03.31
纳米薄膜压力传感器的多层薄膜是采用真空离子束溅射工艺生产的薄膜,由于其核心敏感薄膜厚度小于100nm,因此称为纳米薄膜,采用这种工艺制造的压力传感器称为纳米薄膜压力传感器。
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