日本EDP推出用于半导体的人造金刚石大型基板

摘   要：日本EDP株式会社生产大型金刚石单晶，并将其应用于生产人造金刚石宝石（LGD）的籽晶、基板和光学元件等，此次开发出尺寸更大的单晶，并推出相对应的籽晶和基板。

关键词：日本EDP、人造金刚石、籽晶、半导体基板、大尺寸

EDP株式会社（大阪府丰中市）宣布于2023年8月24日发售“人造金刚石生产用大型籽晶”和“半导体用大型基板”。

该公司的主要优势是能够生产大型金刚石单晶，并将其应用于生产人造金刚石宝石（LGD）的籽晶、基板和光学元件等。

迄今为止该公司销售的最大尺寸籽晶为12x12mm，若采用标准圆形明亮式切割，可生产5.5克拉的宝石。此外，所售研究用基板的最大尺寸为10x10mm。

EDP致力于大型晶体的开发，现已开发出尺寸更大的单晶，并推出相对应的籽晶和基板。

此次发售的产品包括用于生产人造金刚石宝石的大型籽晶：13x13x0.3mm、14x14x0.3mm等，以及用于大型研究的基板：11×11～14×14 mm（厚度任意）。

与之前销售的籽晶相比，“人造金刚石生产用大型籽晶”可以制作更大型的宝石。若采用圆形明亮式切割，13x13mm可制造约7克拉的宝石，14x14mm可制造约8.7克拉的宝石。

此外，若采用公主方形切割、椭圆形切割等，还可以制造更重（更大克拉）的宝石。这些大型单晶产品在LGD生长过程中具有较高的制造产率，可以获得稳定的晶体质量。

“半导体用大型基板”能够开发传统10x10mm基板无法实现的大面积器件。14×14mm基板的面积约为10×10mm基板的2倍，可用作大功率器件开发中有力的基板材料。此外，由于在受晶界影响的光学元件中实现了较大面积，因此有望出现新的应用。

该公司表示，在器件制作方面，2英寸晶圆有待开发，此后还将继续推进单晶2英寸晶圆的开发。此外，为了将其用作晶圆，需要改善表面粗糙度等，因此该公司计划同时推进抛光技术的研发。