1.跋陀，又名佛陀，天竺（印度）人。北魏时期人。这座寺院即现在的少林寺，跋陀是为少林寺的创立者和第一位住持。他在寺内翻经台翻译了《华严》、《涅槃》、《维摩》、《十地》等经，并度化了慧光、僧稠等人。年老后跋陀迁居少林寺外，直到圆寂。
2.僧稠（480～560）先在巨鹿景明寺出家，拜治实为师，后到少林寺拜跋陀为师。他后来在嵩岳寺讲经说法，影响很大。
3.慧光（487～536）长卢人，俗姓杨。十三岁时随父入洛阳，后被跋陀收为弟子，不久在少林寺出家。他为跋陀所译佛经注疏，刻版印刷，又因他学佛心领神会，向人传授讲解透彻，被称为圣沙弥。
4.菩提达摩（?～536）天竺（印度）人。
5.慧可（487年-593年），洛阳虎牢人，俗姓颐。他幼年出家，通晓佛典。四十岁时拜菩提达摩为师。为表求道决心，慧可竟用刀自断左臂，奉献达摩座前。感其赤诚，达摩授法器、赐法名，收他为传法弟子。慧可是为禅宗二祖。
6.洪遵(530～608)相州人，俗姓时。他八岁到少林寺出家，跟从师父资云。后被北齐朝庭封为断事沙门，负责处理僧人违反佛教戒律之事。隋时，文帝也封洪遵为官，但他仍住在少林寺内。隋文帝开皇七年（587年），洪遵被举召赴京，与印度僧人一起译经。
7.法如（638～689），上党人（今山西长治市），俗姓王，唐初北方禅宗领袖。幼年随舅父到丰阳，先事青布明为师，十九岁时出家。经青布明指点，他又投禅宗五祖弘忍为师，深得其旨，为弘忍高足。侍奉前后共十六年，直至弘忍灭度。
8.慧安（?～709）荆州支江人，俗姓李（一说姓卫）。隋开皇十七年（597年）搜勘天下私度僧尼，慧安遁往山中。为挖大运河，隋大业年间追集丁夫，饿殍相枕，慧安乞食救济饥民。
9.同光（700～770）山西人。弱冠出家，二十六岁受其足戒。他投会善寺普寂为师，后入少林寺，宣法开示二十余年，震动遐迩。安史之乱时，他似避祸于荆州。唐大历五年（770年）圆寂于少林寺。
10.法玩（715～790）山西人，俗姓张。十八岁时学道于普寂禅师，二十岁时受具足戒。普寂谢世后，法玩有时住在嵩山，有时去洛阳。唐贞观六年（790年）八月十三日，法玩于洛阳大敬爱寺圆寂。塔在少林寺西侧。
11.报恩（1058～1111）黎阳人，俗姓刘。他生于硕儒世家，从小就通治国方略，考试登第。他厌倦尘境，向朝庭辞官，出家为僧，朝庭准从了他的请求。于是他倾心于禅宗祖道，谒访诸多高僧。后来当朝丞相请他到少林寺讲经开示，不久他又应诏在少林寺住下，参禅说法。
12.教亨（1150～1219）号虚明，济州任城人，俗姓王。七岁在崇觉寺出家，十三岁受大戒，十五岁外出游方。他先后出入过五座道场：嵩山戒坛寺，韶山云门寺，郑州普照寺，林溪大觉寺和嵩山法王寺。后应请住持少林寺。但不久他又引去，徜徉于嵩少间数年。金兴定三年（1219年）圆寂。
13.福裕(1203～1275)，字好问，号雪庭，为元初著名禅师和曹洞宗师。
14.文才（1273～1352）号淳拙，临汾人，俗姓姚。其父为居士。文才年岁稍长，即请学佛，父母从其志，送他出家剃度。他谒访少林寺的还源福遇，执侍多时，后又到龙门山读经三年。接着他隐居于终南山中。元泰定元年（1324年），被请出住持少林寺，但他于元天历二年（1329年）辞退。到了元至正五年（1345年），他又被请出再任少林寺住持，七年后圆寂。
15.邵元，号古源，俗姓源。他原是日本国山阴道但州正法禅寺住持，元泰定四年（日本嘉历二年，1327年）来中国。先在福州，后到天台山、天目山、五台山遍访名僧，元天历二年（1329年）到嵩山少林，长住二祖庵达二十一年。
16.紧那罗，不知其来历。据《嵩书》记载：“至正初（1341年）忽有一僧至少林，蓬头裸背跣足，止著单裩，在厨中作务。紧那罗在少林寺地位极重，寺中有紧那罗殿和其塑像，被尊为少林护伽蓝神。
17.了改（1335～1421）号凝然，嵩阳金店人，俗姓任。十四岁时拜少林寺提点训公为师，二十一岁时受戒。他曾在香山参访月印长老，后到天庆寺跟从松庭禅师。明洪武二十三年（1390年），了改任少林寺住持，三年后辞退，但仍驻少林寺，直到圆寂。
18.文载（1454～1523）号月舟，北畿通州人，俗姓王。九岁入乡校，十三岁出家，拜白庵为师。二十岁时出游参学，三年后回还，闭门不出，读经习静。明正德三年（1508年），祠部任命文载住持少林寺，前后十六年，直到圆寂。
19.悟须（?～1563）号匾囤，一号无空，禹州人，俗姓陈。年过二十后辞父母出家，入少林寺，以梵僧喇嘛为师。悟须是明代著名的十八武僧之一，他的骨灰归回了少林寺，建塔埋葬。
20.正道（1547～1609）字无言，洪都新建人，俗姓胡。他开始在上蓝寺出家，拜和尚为师。二十岁后跟从知休禅师，住在南岳净瓶崖。知休指点他参谒逊庵，后又指点他到少林寺参谒幻休常润。正道于明神宗万历二十二年（1594年）被祠部任命为少林寺住持，前后十七年，直到圆寂。
21.海宽，（1596—1666年）邢台内邱人，明末清初着名禅师，嵩山·少林寺历史上最后一位钦命住持，主持少林寺长达27年之久。法名海宽，字涵宇，号彼岸，称彼岸宽公。
22.恒林（1865～1923）号云松，伊川宋寨人，俗姓宋。光绪初年入少林寺为僧，民国元年被任命为登封县僧会司僧会，后又被推选为少林保卫团团总。任职后数年间购置枪枝，训练武装，打击土匪，备尝辛苦。民国十二年（1923年）秋，积劳致疾，卒于职。
23.妙兴(1891年－1927年)，原名金豪文，河南临汝谢湾人（今汝州谢湾人），是少林寺的武僧和僧兵首领。法名妙兴，字文豪，号金罗汉。
24.释淳朴（民国时期曾任少林主持，具体事迹不详）
25.贞绪（1893年—1955年）字耀宗，巩县鲁庄人，俗姓李。6岁出家巩县（今巩义）少林寺下院龙兴寺，拜纯智为师。民国9年（1920年）回少林寺，从恒林学习少林武功，后成为著名武术大师。民国18年（1929年）任少林寺住持。
26.德禅（1907－1993），俗姓刘，河南登封人。其宗徒衣钵为释行慈法师、释行孝法师，其法嗣为释行正禅师。依止再传衣钵传人释永悟法师等。
27.行正（1914～1987）字愿安，登封城关刘庄人，俗姓李。1920年在少林寺出家，1932年在九华山东崖寺受戒。后任河南省佛教协会理事，少林寺住持。文革期间，行正采取转移地点、埋藏地下等方法，保存了一批少林寺文物。1986年，他被正式任命为少林寺方丈，结束了自清康熙以来少林寺无方丈的历史。他于1987年圆寂。
28.行孝（行孝法师是德禅法师的弟子，中国佛学院南京分院毕业。行正法师圆寂以后，曾与永信法师共同执掌少林寺内外主持事务，期间素喜法师出任少林名誉方丈，后因少林内部争斗诸原因而不得已离开少林。）
29.素喜（1924-2006年），民国十三年（一九二四年）出生，河南登封人，1937年8月17日在嵩山少林寺达摩亭拜河南省嵩山少林寺永化堂上传曹洞正宗第四十三世、雪庭福裕禅师下第二十九代嗣祖沙门、住持大和尚贞绪禅师为师剃度出家，得赐法号素喜，字清心。
30.永信（1965——？）俗姓刘，名应成，法名永信
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